[发明专利]多孔吸盘的清洗方法有效
| 申请号： | 202110039308.7 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112871853B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 张松涛;苏朋;杨国文 | 申请（专利权）人： | 度亘激光技术(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 孙海杰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多孔吸盘的清洗方法，涉及半导体制备技术领域，具体包括以下步骤：利用第一清洗溶液对多孔吸盘表面的无机物杂质进行清洗；当所述多孔吸盘表面的无机物杂质清洗后，利用第二清洗溶液对多孔吸盘的孔洞中的有机物杂质进行清洗。与现有技术相比，本发明提供的多孔吸盘的清洗方法，首先对附着在多孔吸盘的表面的无机物杂质进行清洗，然后再对多孔吸盘的孔洞内的有机物杂质进行清洗，通过无机物杂质与有机物杂质分层处理，从而实现多孔吸盘的完全清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔 吸盘 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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