[发明专利]一种基于共混聚合物介电层的OFET气体传感器制备方法在审

专利信息
申请号: 202110039466.2 申请日: 2021-01-13
公开(公告)号: CN112666239A 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 朱阳阳;王丽娟;董金鹏;苏和平;王璐;刘畅 申请(专利权)人: 长春工业大学
主分类号: G01N27/414 分类号: G01N27/414
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 130012 吉林*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明是一种基于共混聚合物介电层的OFET气体传感器制备方法,采用溶液浸涂法,在ITO玻璃基底(3)上均匀涂覆聚合物混合溶液(1),通过调控聚苯乙烯和聚偏氟乙烯混合溶液(1)的组成和溶液浓度,调控退火时间、退火温度和退火环境,获得不同形貌的共混聚合物介电层(4),在共混聚合物介电层(4)上真空蒸镀四噻吩诱导层(6)和酞菁锌敏感层(7),最后蒸镀金电极(8)得到基于共混聚合物介电层的OFET气体传感器。
搜索关键词: 一种 基于 聚合物 介电层 ofet 气体 传感器 制备 方法
【主权项】:
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