[发明专利]用于工件中的缺陷检测的设备及方法在审
| 申请号： | 202110040476.8 | 申请日： | 2015-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112858319A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 汤姆·马里富特;卡尔·特鲁叶恩斯;克里斯托夫·沃特斯 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89;G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956;G01R31/01;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种用于工件中的缺陷检测的设备及方法。提供至少一个光源，且所述光源产生所述工件在其处是透明的波长范围的照明光。相机通过透镜使来自所述工件的至少一个面的所述光成像于所述相机的检测器上。平台用于移动所述工件，且用于使用所述相机使所述半导体装置的所述至少一个面完整地成像。所述计算机程序产品安置于非暂时性计算机可读取媒体上，用于工件中的缺陷检测。计算机用以执行各种过程步骤及控制所述设备的各种构件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 工件 中的 缺陷 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
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