[发明专利]一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法在审
| 申请号： | 202110041610.6 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN112871891A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027;B08B13/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 荣玲 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法，属于碳化硅晶体生长技术领域。为解决现有碳化硅晶体生长炉石英管不易清理的问题，本发明提供了一种碳化硅晶体生长炉石英管的清理方法，将K |
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| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶体生长 石英管 清理 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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