[发明专利]一种高精度痕量水氧测量系统在审
| 申请号： | 202110042392.8 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN112903599A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 阴慧琴;唐忠锋;李娜;王建强;钱渊;曹云;汪洋;王子睿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01N27/42 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 宋丽荣 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高精度痕量水氧测量系统，包括过滤器；净化器；检测系统，其包括采用光腔衰荡光谱法测量痕量水分的痕量水检测器和利用库仑电量法测量痕量氧的痕量氧检测器，痕量水检测器和痕量氧检测器并联；与检测系统连接的显示器以实时地显示水含量和/或氧含量；气源通过仅包括过滤器不包括净化器的第一通路与检测系统连通；或气源通过包括过滤器和净化器的第二通路与检测系统连通；或气源通过不包括过滤器或净化器第三通路与检测系统连通；或气源通过仅包括净化器不包括过滤器的第四通路与检测系统连通。本发明的高精度痕量水氧测量系统，可以对高纯气体中的痕量水和/或痕量氧进行高精度检测，具有检测下限低、重复性好、原位测量等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 痕量 测量 系统 | ||
【主权项】：
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