[发明专利]一种自动化旋转多管阵列式设备在审
申请号: | 202110045089.3 | 申请日: | 2021-01-13 |
公开(公告)号: | CN114763604A | 公开(公告)日: | 2022-07-19 |
发明(设计)人: | 郝奕舟 | 申请(专利权)人: | 广州墨羲科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 广州科沃园专利代理有限公司 44416 | 代理人: | 陆丰艳 |
地址: | 510000 广东省广州市高新技*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种自动化旋转多管阵列式设备,包括两个以上单管装置和放置架,所述单管装置包括管道和炉体,所述管道的一端安装有第一密封件,所述第一密封件与第一旋转件连接,所述第一旋转件与第一固定件连接,所述第一旋转件上设有第一旋转件轴承座;所述管道的另一端安装有第二密封件,所述第二密封件与第二旋转件连接,所述第二旋转件与第二固定件连接,所述第二旋转件上设有第二旋转件轴承座和皮带固定轮,所述皮带固定轮通过皮带连接皮带转动装置,所述两个以上单管装置组成多管阵列。本发明的工艺进行过程中可以同时原位对管道进行轴向旋转,提高管道内部的均匀性,实现管道反应区和反应物的轴向旋转。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动化 旋转 阵列 设备 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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