[发明专利]一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构在审
| 申请号： | 202110045940.2 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN112904551A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 敬子建;王进;亓波;谭毅;任戈 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B7/00;F16C11/12;H02N2/00;H02N2/04;H02N2/06 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构，包括静平台、3条可伸缩的运动支链、动平台、以及3个相同的压电惯性驱动器。静平台和动平台之间通过柔性球副以及柔性虎克铰来连接，运动支链采用具有位移感知功能的直线式惯性压电作动器。作动器包括比例式线性霍尔传感器、作动体、运动单元、圆柱形外壳、永磁体、底座。该三维平台采用柔性铰链替代传统运动副，具有易于实现装备的小型化，提高重复定位精度，高运动灵敏度等优点，同时使平台达到静稳定状态，避免运输过程中发生的振动和碰撞问题。宏微复合运动平台是通过宏运动实现平台的大行程进给运动，借助微运动实现精密定位。本发明赋予平台大行程，高精度的宏微运动能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 运动 方式 自由度 高精度 机构 | ||
【主权项】：
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