[发明专利]一种含组合介质深槽的横向耐压区

摘要

本发明公开了一种含组合介质深槽的横向耐压区，其包括衬底，衬底上设置有漂移区，漂移区中设置有上端开口的绝缘介质槽，在耐压状态时的介质槽低电位侧设置有P型深槽电容充电电荷补偿区，漂移区槽体的高电位侧设置有N型深槽电容充电电荷补偿区。本发明通过在介质深槽内填充两种不同的介质，在纵向上通过它们横向宽度线性变化形成组合，进而调变深槽电容。调变后的深槽电容可与深槽两侧纵向变化的电势相匹配，使其所需充电电荷沿纵向接近均匀分布。此后采用均匀掺杂就能为深槽电容提供恰当的充电电荷，实现优化该类器件漂移区内电场分布的目的，从而有效改善击穿电压与比导通电阻之间的折中关系。