[发明专利]一种薄膜铌酸锂电光开关在审
| 申请号： | 202110046813.4 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN112859389A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 唐杰;钱广;孔月婵;陈堂胜 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 施昊 |
| 地址： | 210016 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种薄膜铌酸锂电光开关，包括由下至上堆叠的衬底、下包层、薄膜铌酸锂平板光波导、电光开关组件以及上包层，电光开关组件包括沿光路依次设置在薄膜铌酸锂平板光波导上的输入耦合器、电光作用区以及输出耦合器，输入耦合器具有至少一条第一输入光波导、第一多模干涉区以及两条第一输出光波导；输出耦合器具有两条第二输入光波导、第二多模干涉区以及至少一条第二输出光波导；电光作用区具有地电极与信号电极；地电极与信号电极均由自上而下设置的上层金属电极与下层金属电极构成，上层金属电极的厚度均大于下层金属电极。本发明可有效降低光开关的驱动电压，同时确保电光波速能够匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 铌酸锂 电光 开关 | ||
【主权项】：
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