[发明专利]一种蒸镀有能提高灵敏度的高反膜的微通道板及蒸镀方法在审
| 申请号： | 202110047290.5 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN112885700A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 李磊;谭远航;夏晓娇;李臻;高海鹏;李金沙;马怀超;许有毅;宋奇庚;杨玺文;李娇娇;高兵祥;朱航;许灵吉;郑林涛;唐顺达;李家保;尹昌娟 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J43/24 | 分类号： | H01J43/24;H01J9/12;H01J31/50;C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 | 代理人： | 赛晓刚 |
| 地址： | 650217*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种蒸镀有能提高灵敏度的高反膜的微通道板及蒸镀方法。所述微通道板通过是真空镀膜技术，在其的输入端导电层表面镀制一层介质膜，将输入端导电层覆盖；所述介质膜层既能覆盖微通道板通道入口内的输入电极，又能覆盖微通道板输入端表面上的输入电极；所述介质膜层材料为铝或银。该膜层蒸镀方法包括在镀膜机的坩埚中放入蒸发源银锭或铝锭、镀膜机真空度达到2x10 |
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| 搜索关键词： | 一种 蒸镀有能 提高 灵敏度 高反膜 通道 方法 | ||
【主权项】：
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