[发明专利]一种异质结太阳能电池的制备方法及异质结太阳能电池在审
| 申请号： | 202110049099.4 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN113437184A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | H01L31/20 | 分类号： | H01L31/20;H01L31/0747;H01L31/0352 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 郑越 |
| 地址： | 242074 安徽省宣城市经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池生产技术领域，具体涉及一种异质结太阳能电池的制备方法及异质结太阳能电池。一种异质结太阳能电池的制备方法，包括如下步骤：在N型衬底的正面和背面分别形成本征钝化层，包括：采用射频等离子体增强化学气相沉积工艺在N型衬底上形成第一子本征钝化层；采用甚高频等离子体增强化学气相沉积工艺在第一子本征钝化层上形成第二子本征钝化层。本发明提供的一种异质结太阳能电池的制备方法，通过射频等离子体增强化学气相沉积工艺和甚高频等离子体增强化学气相沉积工艺制备两层本征钝化层，既抑制了本征钝化层的外延生长，又保证了本征钝化层的整体质量，保证了异质结太阳能电池的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 异质结 太阳能电池 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
