[发明专利]一种单晶硅外延片检测用集成系统有效
| 申请号： | 202110058279.9 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN112880737B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 彭日宇;李治宇 | 申请（专利权）人： | 四川雅吉芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 成都乐易联创专利代理有限公司 51269 | 代理人： | 张锐 |
| 地址： | 625000 四川省雅安市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅外延片检测用集成系统，包括工作台和保护罩、放料装置和检测机构，所述工作台上加工有放置外延片的放置腔，放置腔表面放置有灯板，放置腔中部安装有旋转台，工作台表面一侧铰接有与放置腔配合的保护罩，保护罩的内壁顶部设有与灯板配合的光敏元件，工作台表面另一侧安装有将外延片放入旋转台的放料装置，所述放置腔内壁上可伸缩地安装有对外延片进行检测的检测机构。本发明通过在工作台上设置放料装置和检测机构，可实现外延片的连续检测，可同时检测外延片的温度、厚度、平整度和外延片的面积，提高了外延片的检测效率，从而保证了外延片的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 外延 检测 集成 系统 | ||
【主权项】：
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