[发明专利]气体流量调节装置和半导体加工设备

摘要

本发明提供一种气体流量调节装置和半导体加工设备，该气体流量调节装置包括：底座结构，在底座结构中设置有气体通道；活塞部件，可移动地设置在底座结构中，用以通过在指定方向上移动来调节气体通道的通气截面面积；旋转驱动源的驱动轴包括位于旋转驱动源外部的连接部分；以及传动结构，其旋转件与驱动轴的连接部分连接，且与移动件螺纹连接，限位组件与移动件连接，用以在旋转件随驱动轴旋转时，限制移动件旋转，以使移动件能够相对于旋转件沿指定方向移动；移动件与活塞部件连接。本发明提供的气体流量调节装置和半导体加工设备，无需对电机要求较高的精度，从而可以降低设备成本，而且可以简化拆卸、调试过程，从而可以提高工作效率。