[发明专利]一种基于介质-超薄掺杂金属-介质的网栅结构电磁屏蔽光学窗有效
| 申请号： | 202110061247.4 | 申请日： | 2021-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN113056183B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 王赫岩;陆振刚;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H05K9/00 | 分类号： | H05K9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种基于介质‑超薄掺杂金属‑介质的网栅结构电磁屏蔽光学窗属于光学透明件电磁屏蔽领域。该光学窗利用共掺杂沉积方法在超薄厚度条件下得到表面连续、粗糙度极低的高质量掺杂金属膜。并进一步利用透明导电的介质‑超薄掺杂金属‑介质取代传统的金属材料制作网栅结构，大幅提升可见光波段的透光率，并相对于金属网栅结构，抑制了其可见光波段的强光学衍射效应，解决高级次衍射能量分布集中带来成像质量退化的问题。同时开孔状的网栅结构增强了红外波段金属薄膜的通透性，扩展了金属薄膜在红外波段应用的范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 介质 超薄 掺杂 金属 结构 电磁 屏蔽 光学 | ||
【主权项】：
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