[发明专利]一种阴极制备自动装置显控系统在审
| 申请号： | 202110063477.4 | 申请日： | 2021-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN112802725A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 陈伟;周庆宏;许军;邓海顺;马天兵 | 申请（专利权）人： | 安徽理工大学 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;G05B19/414 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 232001 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明专利为一种阴极制备自动装置显控系统，由工控机和PLC组成，显控装置上包括机械泵、分子泵、离子泵、钛升华泵、各种电动阀门、阴极、阳极、阴极升降机构、数字式位移传感器、数字式真空度传感器、数字式温度传感器；“加工温度设定”、“加工间距设定”和“加工时间设定”的数值输入框。具有阴极制备自动装置完善的监控功能，其操作简便、功能齐全、性能可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 制备 自动装置 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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