[发明专利]一种太阳能电池及其制作方法有效
申请号: | 202110063565.4 | 申请日: | 2021-01-18 |
公开(公告)号: | CN112909101B | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 肖祖峰;刘株林;丁亮;丁杰;王兵 | 申请(专利权)人: | 中山德华芯片技术有限公司 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/0392;H01L31/18 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 伍传松 |
地址: | 528437 广东省中山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种太阳能电池及其制作方法。一种太阳能电池,包括Ge衬底;设置于Ge衬底表面的图形化背电极,其中图形化背电极包括厚度一致的第一金属层和网格状的第二金属层;设置于Ge衬底远离图形化背电极一侧表面的外延层;设置于外延层表面的负电极;以及完全覆盖负电极的减反膜。本发明采用一次蒸镀的方法制备图形化的背电极,相较于光刻技术和二次蒸镀技术,制作成本降低;相对于未图形化的背电极,降低了电池切割前后的翘曲程度。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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