[发明专利]一种微波等离子体产生装置在审
| 申请号： | 202110065524.9 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112888134A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王邱林;吉皓 | 申请（专利权）人： | 成都奋羽电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H1/00 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 卿诚 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高新区天*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微波等离子体产生装置，属于微波技术领域，包括等离子体炬；所述等离子体炬包括外壳；所述外壳内设有圆柱状腔；所述圆柱状腔内设有反应管；所述外壳上设有进气口和出气口；所述进气口和出气口通过反应管连通；所述外壳上设有馈口；所述馈口连通圆柱状腔。本发明的一种微波等离子体产生装置，等离子体易激发，等离子体产生效率高，具有自动监测复反射系数功能，采用自动三销钉适配器自动调配，提高微波能量的利用率，能够快速自动点火，稳定可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 等离子体 产生 装置 | ||
【主权项】：
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