[发明专利]声波谐振器和用于制造声波谐振器的方法在审

专利信息
申请号: 202110067710.6 申请日: 2021-01-19
公开(公告)号: CN114006596A 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 李泰京;金龙石;尹湘基;孙晋淑;申兰姬 申请(专利权)人: 三星电机株式会社
主分类号: H03H9/17 分类号: H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02;H03H9/05
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 田硕;王秀君
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本公开提供一种声波谐振器和用于制造声波谐振器的方法。所述声波谐振器包括:谐振器,具有中央部和延伸部,在所述中央部中,第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上,所述延伸部沿着所述中央部的外周设置,并且在所述延伸部中,插入层设置在所述压电层下方,其中,所述插入层包括注入氟(F)的SiO2薄膜。
搜索关键词: 声波 谐振器 用于 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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