[发明专利]声波谐振器和用于制造声波谐振器的方法在审
申请号: | 202110067710.6 | 申请日: | 2021-01-19 |
公开(公告)号: | CN114006596A | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 李泰京;金龙石;尹湘基;孙晋淑;申兰姬 | 申请(专利权)人: | 三星电机株式会社 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02;H03H9/05 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 田硕;王秀君 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本公开提供一种声波谐振器和用于制造声波谐振器的方法。所述声波谐振器包括:谐振器,具有中央部和延伸部,在所述中央部中,第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上,所述延伸部沿着所述中央部的外周设置,并且在所述延伸部中,插入层设置在所述压电层下方,其中,所述插入层包括注入氟(F)的SiO |
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搜索关键词: | 声波 谐振器 用于 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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