[发明专利]旋转外部加热式高频感应超高纯锗单晶制备方法及设备在审
| 申请号： | 202110068511.7 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112853472A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 白尔隽 | 申请（专利权）人： | 白尔隽 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/14;C30B29/08 |
| 代理公司： | 深圳市远航专利商标事务所(普通合伙) 44276 | 代理人： | 田志远;袁浩华 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了锗单晶制备领域中的一种旋转外部加热式高频感应超高纯锗单晶制备方法及设备，该方法包括原料铸锭及初级纯化的步骤、精区熔提纯的步骤，先在第一石英舟中对市场商品锗锭作为原料进行铸锭，后在第二石英舟内进行精区熔提纯，得到高纯锗多晶，后拉制出超高纯锗单晶；该设备包括籽晶提拉转动装置、石英管炉体和旋转的外加热装置，籽晶提拉转动装置包括套在石英管内的石英坩埚和籽晶杆，外加热装置包括加热器和套在加热器外部的加热线圈，加热器通过加热器旋转轴与机座连接。本发明适应了统一精提纯的要求，避免在操作过程中带来任何不利的因素，同时减少了坩埚杆等结构的应用，避免这些结构带来的杂质污染，有利于超高纯锗单晶的纯度提高。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 外部 加热 高频 感应 高纯 锗单晶 制备 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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