[发明专利]真空样品驱动装置有效
| 申请号： | 202110069780.5 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112758696B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 楼厦;倪健;薛聪 | 申请（专利权）人： | 埃特曼半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G54/02 | 分类号： | B65G54/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 薛娇 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空样品驱动装置，包括设置于真空腔室内并和样品承载台相连接的第一磁性部件；设置于真空腔室外的第二磁性部件；第二磁性部件和第一磁性部件之间通过磁场力相互磁耦合，且第一磁性部件和第二磁性部件之间的真空腔室的腔壁为一体结构；第二磁性部件为对第一磁性部件施加的磁场力可调的磁性件；当第一磁性部件受第二磁性部件的磁场力变化时，第一磁性部件受变化的磁场力驱动带动样品承载台移动，以驱动样品承载台上的样品移动到设定位置。本申请所提供的真空环境中的样品转运的装置，不需要将驱动电机、轴承等驱动设备封装于真空环境中，提高真空腔室的密封性和真空环境的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 样品 驱动 装置 | ||
【主权项】：
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