[发明专利]一种低激活温度高性能吸气薄膜

摘要

本发明公开了一种低激活温度高性能吸气薄膜，包括吸气薄膜，其特征在于：所述吸气薄膜成分为：Zr100‑x‑y‑zTixVyREz，其中，0wt％≤x≤50wt％、0wt％≤y≤15wt％、0wt％≤z≤15wt％，其余为锆的含量；其中，RE代表稀土元素，RE分别为La、Ce、Nd、Pr、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Sc、Y中的任意一种单个稀土元素或者任意几种混合稀土元素。通过对Zr‑Ti‑V‑RE靶材进行溅射，制备吸气薄膜，吸气薄膜的厚度为0.2～10微米。本发明制成的该成分的吸气薄膜，具备低的激活温度和高吸气性能，可在250～350℃下激活，激活时间15～60min，对氢气、一氧化碳等介质进行吸附，其中初始吸氢速率可达60～1000ml/s.cm2。