[发明专利]一种硅片清洗方法有效
| 申请号： | 202110072089.2 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN112387647B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;李刚;周志勇 | 申请（专利权）人： | 常州江苏大学工程技术研究院;江苏亚电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;F26B5/14 |
| 代理公司： | 芜湖市昌强专利代理事务所(特殊普通合伙) 34203 | 代理人： | 张宇江 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种硅片清洗方法，包括：将硅片依次插入齿杆上相邻两夹紧齿之间，以使硅片支撑在各支撑杆上；将安装好硅片后的花篮主体放至清洗池的池底；推动端板沿滑轨向推块滑动至三个支撑杆分别与推动面接触后，打开喷淋；继续推动端板使得推块推动支撑杆沿滑动槽由高处滑动至低处，并压缩撑开弹簧，以使硅片向支撑杆跌落并露出硅片与夹紧齿夹紧的区域，进行清洗，从而提高了整个硅片的清洗效果；在清洗完成后，推块松开支撑杆，支撑杆在撑开弹簧的回弹力作用下推动硅片插回至两夹紧齿之间，并通过回弹力保证各硅片排列整齐。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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