[发明专利]MEMS芯片及电子设备在审
| 申请号： | 202110072855.5 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112804628A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 张贺存;邱冠勋;刘松 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 261000 山东省潍坊市潍坊高新区新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MEMS芯片及电子设备，MEMS芯片包括依次层叠布设的基板、振膜及背极板；MEMS芯片还包括设于基板与振膜之间的第一支撑部、以及设于振膜与背极板之间的第二支撑部，第一支撑部在振膜上的投影与第二支撑部在振膜上的投影呈错开设置。本发明中，振膜通过第一支撑部支撑在基板上，实现振膜周缘与基板的相对固定；背极板通过第二支撑部支撑在振膜上，使得二者间隔开而形成振动间隙，便于振膜的振动。由于第一支撑部与第二支撑部设置在振膜的相对两端，通过将第一支撑部在振膜上的投影与第二支撑部在振膜上的投影错开设置，能够减小振膜锚点处的应力，有助于提升振膜的顺应性，从而提高MEMS芯片的机械灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 芯片 电子设备 | ||
【主权项】：
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