[发明专利]光学测量装置以及光学测量方法在审
申请号: | 202110073473.4 | 申请日: | 2021-01-20 |
公开(公告)号: | CN113137929A | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 田口都一;入江优 | 申请(专利权)人: | 大塚电子株式会社 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 金辉;崔炳哲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种光学测量装置,更准确地测量测量对象物的透射率或反射率。光学测量装置包括:照射光学系统,向测量对象物照射包含多个波长的照射光;受光光学系统,接收测量光,所述测量光为通过向所述测量对象物照射所述照射光进而从所述测量对象物产生的透射光或反射光;以及偏振板,所述偏振板构成为能够位于所述照射光学系统以及所述受光光学系统中的任意一方。 | ||
搜索关键词: | 光学 测量 装置 以及 测量方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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