[发明专利]MEMS电容式加速度计芯片的性能自动测试方法在审
| 申请号： | 202110073505.0 | 申请日： | 2021-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN112881892A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 沈烽;徐好;任杨波 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04;G01P15/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及微电子机械系统领域，尤其涉及一种适用于MEMS电容式加速度计芯片的自动化测试系统，包括传感器晶圆级测试及传感器成品测试。主要包括MEMS加速度传感器芯片测试夹具(1)、ARM控制板(2)、PC上位机控制系统(3)、电机系统(4)、高精度LCR测试仪(5)；测试夹具用来固定传感器晶圆也可以用来固定成品传感器，可以实现自主检测，判断夹具探针是否磨损，判断接触是否合格；一套可编程集成控制系统，包括了ARM控制板，和Labview上位机控制程序；电机系统用于控制装置的偏转角度，配合自动PID技术，可以实现千分之一度角度的偏转；高精度LCR测试仪可以检测传感器的静态动态参数，结合上位机程序实现自动化检测。 | ||
| 搜索关键词： | mems 电容 加速度计 芯片 性能 自动 测试 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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