[发明专利]一种多角度低反射红外截止滤光膜的设计方法在审

专利信息
申请号: 202110073584.5 申请日: 2021-01-20
公开(公告)号: CN112925054A 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 增田清志;增田博志;孟庆宣 申请(专利权)人: 苏州京浜光电科技股份有限公司
主分类号: G02B5/20 分类号: G02B5/20;C23C14/24;C23C14/10;C23C14/08
代理公司: 苏州圆融专利代理事务所(普通合伙) 32417 代理人: 郭珊珊
地址: 215501 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种多角度低反射红外截止滤光膜的设计方法,包括以下步骤:基底材料的选择;制备高低折射率材料的单层膜;将倒置的膜堆参数导入光学设计软件,调节关键膜层厚度,输入优化条件后,进行多角度低反射红外截止滤光膜优化设计;基底材料的一面先蒸镀粘结层,然后以不同条件交替蒸镀氧化硅层和氧化钛层。本发明,通过2个标准膜堆进行堆叠设计,采用厚膜堆在前,薄膜堆在后,并将靠近基底的前两层高低折射率材料的膜层厚度设置为约1/4光学厚度的薄层,同时在最后添加4层薄层作为干涉层,然后通过软件进一步优化,最终设计0度和30度可见光波段反射显著降低,反射设计余量充足,生产良率高。
搜索关键词: 一种 角度 反射 红外 截止 滤光 设计 方法
【主权项】:
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