[发明专利]一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置

摘要

本发明涉及芯片加工技术领域，且公开了一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置，包括支撑架，所述支撑架的内部固定连接有安装架，所述安装架的内部开设有水槽，所述水槽的内部转动连接有扇叶，所述扇叶的下端固定连接有线圈，所述水槽靠近线圈的侧壁固定连接有永磁体，所述水槽的下端固定连接有弹性腔，所述弹性腔的内部固定连接有磁块，所述弹性腔的内部转动连接有活动连杆。通过电磁杆与磁铁相互排斥，滑槽与活动腔相互滑动，使得支撑杆能够被支撑起来，且弹性腔与弹簧气囊相互连通，弹簧气囊的内部充满液体，从而达到了能够在一侧发生倾斜时给与支撑，使磨盘水平，防止打磨时不光滑的效果。