[发明专利]湿式蚀刻方法和蚀刻液有效
| 申请号： | 202110075293.X | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN112921320B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 八尾章史;山内邦裕;藤原昌生;宫崎达夫 | 申请（专利权）人： | 中央硝子株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/10 | 分类号： | C23F1/10;C23F1/02;C23F1/44;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种湿式蚀刻方法，其特征在于，其是使用蚀刻液对基板上的含金属膜进行蚀刻的湿式蚀刻方法，前述蚀刻液是三氟甲基与羰基键合而成的β‑二酮的有机溶剂溶液，前述含金属膜包含能够与前述β‑二酮形成络合物的金属元素，前述蚀刻液中所包含的水的量为1质量％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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