[发明专利]延长硫化镉靶材使用寿命的镀膜方法在审
| 申请号： | 202110081610.9 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN112921282A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 萧吉宏;李涛;连重炎;刘林;卢海江 | 申请（专利权）人： | 宣城开盛新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人： | 王燕 |
| 地址： | 242000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了延长硫化镉靶材使用寿命的镀膜方法，采用四根硫化镉平面靶材进行直流溅射，假设四根硫化镉平面靶材的溅射总功率为p，第一根硫化镉平面靶材的溅射功率为1/4‑1/2p，第二根硫化镉平面靶材的溅射功率为1/4‑1/2p，第三根硫化镉平面靶材的溅射功率为1/6‑1/4p，第四根硫化镉平面靶材的溅射功率为1/6‑1/4p。本发明的镀膜方法没有对镀膜机软硬件进行升级，未改变硫化镉靶材的溅射总功率，也即缓冲层硫化镉膜层厚度未变化，仅仅只是对生产工艺参数比例的调整，即将关键靶材的消耗速率降低超过30％；这为单个周期的生产时间大幅延长提供了可能；一方面，单个周期的产能可能得到明显提升，另一方面，这为提高整套镀膜设备以及其他昂贵靶材的利用效率带来利好。 | ||
| 搜索关键词： | 延长 硫化 镉靶材 使用寿命 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
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