[发明专利]一种晶圆涂膜设备

摘要

本发明公开了一种晶圆涂膜设备，其结构包括储存箱、按钮、显示器、输膜器，所述按钮安装在储存箱左侧，所述显示器嵌设于储存箱前侧，所述输膜器两端分别通过焊接连接于储存箱背面与储存箱顶部，本发明的有益效果在于：将晶圆放置在支撑块上，在支撑簧的推力下使夹板将晶圆夹紧，避免晶圆在涂膜时掉落，同时移动杆受夹板的挤压使得顶块向外张开至压板紧贴于夹板表面，避免夹板在夹持晶圆时晃动导致涂膜不均，晶圆外表面向外挤压夹板，在拉簧的拉力下能够对不同大小的晶圆进行夹持涂膜，当刮板对晶圆表面的液体涂膜进行推平时多余的液体涂膜能够沿着导管排出至储存腔内部进行储存，避免液体涂膜堆积在空槽内导致晶圆摆放不平稳。