[发明专利]一种平面构件平行度的测量方法和装置在审
申请号: | 202110087573.2 | 申请日: | 2021-01-22 |
公开(公告)号: | CN112902880A | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 郭江;康仁科;张俊涛;潘博 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | G01B11/27 | 分类号: | G01B11/27;G01B11/06 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人: | 李晓亮;潘迅 |
地址: | 116024 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种平面构件平行度的测量方法和装置,包括运动系统、测量系统、控制系统、数据处理系统,测量系统安装在运动系统上,控制系统控制运动系统带动测量系统进行运动,数据处理系统实时收集测量系统测量的数据并进行数据处理。本发明主要结合平面构件厚度和平面度的测量方法,对平面构件两平面的平行度进行测量。该方法利用精密激光位移传感器获取工件厚度数据,利用平面度仪或精密激光位移传感器获取工件平面度数据,再对两组数据进行叠加,计算工件平行度。本发明计算精度、测量精度高,能够保证平行度的测量精度;适用范围广,可用于大尺寸透明或非透明平面构件特别是平面薄壁构件平行度测量;测量设备自动化程度高、易操作;测量成本较低,测量效率较高。 | ||
搜索关键词: | 一种 平面 构件 平行 测量方法 装置 | ||
【主权项】:
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