[发明专利]高深宽比微结构阵列模芯、加工装置及制造方法在审
申请号: | 202110088329.8 | 申请日: | 2021-01-22 |
公开(公告)号: | CN112904666A | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 胡满凤;邹超鹏;石凯;李伟;童俊;沈伟明 | 申请(专利权)人: | 佛山科学技术学院 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;B22D19/04 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 杨培德;梁莹 |
地址: | 528200 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请涉及高深宽比微结构阵列模芯、加工装置及制造方法。本申请所述的便捷安装的高深宽比微结构阵列模芯包括:微结构、模芯外壳、磁铁以及固定柱,所述微结构呈阵列排布;所述微结构的底端固定在所述固定柱上;所述固定柱套设在所述模芯外壳内;使得所述微结构的一部分结构置于所述模芯外壳内,其另一部分结构露出在所述模芯外壳外;所述磁铁放置在所述模芯外壳内部的底面,并且所述磁铁放置在所述固定柱的一端。本申请所述的便捷安装的高深宽比微结构阵列模芯具有结构简单成本低且安装方便的优点。 | ||
搜索关键词: | 高深 微结构 阵列 加工 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
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