[发明专利]芯片测试板及芯片测试方法有效

专利信息
申请号: 202110089574.0 申请日: 2021-01-22
公开(公告)号: CN112904180B 公开(公告)日: 2022-04-19
发明(设计)人: 卢宗正 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 杨明莉
地址: 230601 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 本申请涉及一种芯片测试板及芯片测试方法,所述测试板包括第一导电层、第二导电层及第三导电层,第一导电层位于基板上,用于与所述芯片的第一电源连接点电连接,所述第一导电层的一侧引出第一测试点;第二导电层位于所述第一导电层上,用于与所述芯片的第二电源连接点电连接,所述第二导电层的一侧引出第二测试点;第三导电层位于所述第二导电层上,用于与所述芯片的第三电源连接点电连接,所述第三导电层的一侧引出第三测试点;其中,所述第一测试点、所述第二测试点、所述第三测试点均位于所述基板的同一侧的边缘。本申请测试成本低、测试精度高,且能够有效提高对制成芯片的测试能力及测试效率。
搜索关键词: 芯片 测试 方法
【主权项】:
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