[发明专利]一种高分辨率光刻胶在审
| 申请号： | 202110089845.2 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN112925166A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 齐国强;顾大公;岳力挽;李珊珊;马潇;毛智彪;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C07C381/12;C07C303/32;C07C309/17;C07C67/08;C07C69/60;C08F220/28;C08F220/18 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 左光明 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种高分辨率光刻胶，该光刻胶包括以下原料：0.1‑10重量组分的光致酸产生剂、10‑30重量组分的成膜树脂、0.1‑5重量组分的酸扩散抑制剂以及55‑89.8重量组分的有机溶剂A；其中所述光致酸产生剂为含双酯结构的光致酸产生剂，所述酸扩散抑制剂为带酯键的酸扩散抑制剂，带酯键的酸扩散抑制剂的分子量为100‑30000g/mol。本发明实施例提供的光刻胶在采用含双酯结构的光致酸产生剂的条件下，通过添加带酯键的酸扩散抑制剂，进一步改善了光刻胶的线宽粗糙度，提高了光刻胶的分辨率，增强了光刻胶的成膜能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高分辨率 光刻 | ||
【主权项】：
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