[发明专利]气体释放率测量系统及控制方法有效
| 申请号： | 202110090792.6 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN112924324B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 陈蓉;刘晨曦;单斌;曹坤;陈志平;吴润卿 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N7/14 | 分类号： | G01N7/14 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 杜娟娟 |
| 地址： | 430070 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种气体释放率测量系统及控制方法。气体释放率测量系统包括放样室、第一抽真空装置、第一管路、检测室、第二抽真空装置、第一阀门和分压检测装置。放样室用于存放释放目标气体的待测样品。第一抽真空装置与放样室连通。检测室与放样室通过第一管路连通。第二抽真空装置与检测室连通。第一阀门设置于第一管路。分压检测装置与检测室连通。分压检测装置用于检测检测室中目标气体的分压。第一阀门打开时，放样室的气体通过经第一管路进入检测室。分压检测装置通过检测在第一阀门打开前后检测室中目标气体的分压的变化，可以得到待测样品释放目标气体的速率。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 释放 测量 系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
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