[发明专利]一种效率高的自动化晶圆线切割装置

摘要

本发明涉及一种效率高的自动化晶圆线切割装置，包括底座、支杆、横杆、操作台、移动机构和切割机构，所述驱动机构设置在底座上，所述限位机构设置在横杆上，所述切割机构设置在限位机构上，该效率高的自动化晶圆线切割装置，通过移动机构实现切割机构的水平方向和竖直方向的间歇移动，通过切割机构实现工件的切割，与现有的移动机构相比，该机构通过一个输出端，实现了切割机构的两个方向上的移动，节省了能源，通过，同时该机构采用纯机械结构，避免了传感器等电子元件的使用，提高了装置的稳定性和使用寿命，且该机构通过第二弹簧和第三弹簧的回复力对切割机构的震动进行缓冲减震，从而提高了切割精度，提高了实用性。