[发明专利]一种基于MEMS结构的湿度传感器

摘要

本发明公开了基于MEMS结构的湿度传感器，包括终端式微波功率传感器和MEMS悬臂梁；终端式微波功率传感器包括共面波导信号线、共面波导地线、两个并联的匹配电阻和热电堆；MEMS悬臂梁包括三个等距离分布的弹性系数不同的MEMS悬臂梁，每个MEMS悬臂梁均由一层湿度敏感材料和一层金属材料组成，其中湿度敏感材料在金属材料下方；终端式微波功率传感器放置在基板上方，在共面波导信号线和共面波导地线的终端放置两个并联的匹配电阻，匹配电阻附近放置热电堆，等距离分布的三个MEMS悬臂梁锚区设置在共面波导地线上，自由端悬空在共面波导信号线上方。具有设计灵活、结构简单、线性度好、灵敏度高、体积小、工艺兼容等优势。