[发明专利]一种下降法晶体生长坩埚在审
申请号: | 202110093346.0 | 申请日: | 2021-01-25 |
公开(公告)号: | CN112663133A | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 李留臣;周正星;徐建明 | 申请(专利权)人: | 延安星特亮科创有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 刘鑫 |
地址: | 716000 陕西省延*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种下降法晶体生长坩埚,包括坩埚本体、坩埚盖体、开设于坩埚盖体中的通孔、可升降的穿设于通孔中的升降组件;升降组件包括升降轴、连接在升降轴顶端的挡板、连接在升降轴底端的且用于阻止升降轴向上脱离通孔的阻挡件;挡板和阻挡件分别位于坩埚盖体的上下两侧;坩埚还包括开设于坩埚盖体中的且上端位于挡板下方的排气孔;升降组件处于上升位置时,挡板与排气孔沿上下方向间隔排列,坩埚内部通过排气孔与坩埚外部连通;升降组件处于下降位置时,挡板盖设于排气孔上。本发明一种下降法晶体生长坩埚,既能降低对坩埚抽真空的难度,又能防止晶体生长时原料中的元素向外挥发,从而保证了晶体的生长质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 下降 晶体生长 坩埚 | ||
【主权项】:
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