[发明专利]制造方法、制造装置、夹具组件、半导体模块和车辆在审
申请号: | 202110096415.3 | 申请日: | 2021-01-25 |
公开(公告)号: | CN113380684A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 稻叶哲也 | 申请(专利权)人: | 富士电机株式会社 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/603;H01L21/687;H01L23/488 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈力奕;宋俊寅 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 激光照射时所产生的溅射物、烟气可能会附着于产品。本发明的用于制造具有半导体组件的半导体模块的制造方法包括:使具有弹性构件和在两端形成有开口的筒状构件的夹具组件覆盖半导体组件,从而对筒状构件进行定位,以使得在半导体组件的上方所配置的端子的焊接区域在俯视时落在筒状构件的一端的开口内,以便将半导体组件与外部装置相连接的阶段;通过弹性构件的弹力来使筒状构件的一端与端子的正面紧贴,并且使端子的背面与半导体组件的被焊接部抵接的阶段;以及从筒状构件的另一端一侧通过筒状构件的内侧将激光照射到端子的焊接区域,从而将端子的焊接区域焊接到半导体组件的被焊接部的阶段。 | ||
搜索关键词: | 制造 方法 装置 夹具 组件 半导体 模块 车辆 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造