[发明专利]一种全自动曝光机在审
| 申请号： | 202110098554.X | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114791691A | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 章卫平;钱志斌;张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种全自动曝光机，其包括第一台面、第二台面、曝光系统以及至少两个抓料机械手和至少一个暂存机械手，第一台面和第二台面位于曝光系统的两端，并且可以分别移动至所述曝光系统处，第一台面和第二台面均用于放置待曝光基件；至少一个暂存机械手从第一或第二台面上抓取基件，待与其最接近的抓料机械手空置后进行交接，随后抓料机械手将该基件转移到下一工位。本发明的全自动曝光机基件的转移更高效曝光产能更高，并且整机系统的结构紧凑，无论是占地面积还是占用的高度空间都会明显减小，特别占地面积减小尤为明显。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 曝光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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