[发明专利]半导体制程废气处理设备有效
| 申请号： | 202110099426.7 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112915718B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 宁腾飞;杨春水;章文军;张坤;陈彦岗;杨春涛;王继飞;席涛涛;何磊;闫潇 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D49/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李文丽 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及泛半导体技术领域，提供一种半导体制程废气处理设备，包括：处理容器、第一进气管和第二进气管，处理容器限制出处理腔；第一进气管与处理腔连通并用于向处理腔内通入待处理气体；第二进气管套设于第一进气管的外侧并连接于处理容器，第二进气管设置气体进口，第二进气管与第一进气管之间形成进气夹层，进气夹层与处理腔连通以用于向处理腔通入第一辅助气体，第一辅助气体的温度与流速中的至少一个高于待处理气体。本发明提出的半导体制程废气处理设备，解决第一进气管的出口端粉尘堆积而易造成堵塞的问题，延长清理保养周期，减小清理的劳动强度，降低设备清洁及维护保养成本，有助于提升生产效率和降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 废气 处理 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司，未经北京京仪自动化装备技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110099426.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种利用转炉废气阴干造球的方法
- 下一篇：司机室蒙皮成型模具及热压罐成型设备
