[发明专利]金属遮罩的制造方法有效
| 申请号： | 202110099589.5 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112921365B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 余俊毅 | 申请（专利权）人： | 达运精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/10 | 分类号： | C25D1/10;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H10K71/16;H10K71/00 |
| 代理公司： | 北京市立康律师事务所 11805 | 代理人： | 梁挥;孟超 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种金属遮罩的制造方法，包括提供成长基板，其具有导电面。接着，在导电面上形成遮盖图案，其具有至少一开口与接触导电面的绝缘表面。接着，以遮盖图案作为屏蔽，进行第一次电铸，在导电面上形成模具部。模具部填入于开口，并具有接触导电面的导电图案表面。导电图案表面与绝缘表面彼此切齐。在进行第一次电铸之后，移除成长基板，保留遮盖图案与模具部。在移除成长基板之后，对模具部的导电图案表面进行第二次电铸，以在导电图案表面上形成金属图案。之后，从金属图案移除模具部与遮盖图案。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 制造 方法 | ||
【主权项】：
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