[发明专利]一种矫正焦平面探测器倒焊工艺系统误差的工艺方法

摘要

本发明公开了一种矫正焦平面探测器倒焊工艺系统误差的工艺方法。本方法在高平整度透明材料上生长铟柱，剥离后得到试样，试样上同步制备了测量尺标记。两块试样倒焊互连后，利用测量尺标记，对倒焊的对准精度进行测量。然后同设备自带的标准件进行比较，来矫正系统误差，减小了铟柱倒焊时产生的偏移量。由于设备标准件是没用铟柱的，因此，制备铟柱测量尺试样，变得尤为重要，这将是矫正倒焊工艺系统误差的捷径。本方法避免了由于高密度铟柱间距小，互连过程中相邻铟柱的触碰，从而导致像元间短路的问题，有效提高大规模高密度焦平面探测器的连通率和倒焊成品率；本方法不受阵列规模和像元尺寸的限制，可以方便地应用于各种面阵器件。