[发明专利]扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法在审
| 申请号： | 202110102863.X | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN113311194A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 山崎贤治 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01Q20/02 | 分类号： | G01Q20/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法，其目的在于缩短检测部的位置的调整所花费的时间。在检测器的位置调整处理中，控制装置使检测器在检测器运动的平面上以使光电二极管彼此分开的边界线为基准倾斜地运动，并且响应于激光的至少一部分入射到受光面，使检测器移动以使光斑的重心位置与受光面的中心一致。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 光轴 调整 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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