[发明专利]一种多反射干涉仪及多反射干涉分光方法在审
| 申请号： | 202110103276.2 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112782102A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 朱国瑞;倪晨;许涛;顾牡;廖志强 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01N21/45;G01J3/45;G01J3/02 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多反射干涉仪及多反射干涉分光方法，属于光谱技术领域，该多反射干涉仪用于设置在多反射干涉自动测量系统中，具有这样的特征，包括：分束器，固定在第一支撑单元上，用于将入射光分成第一光束和第二光束；第一反射单元以及第二反射单元，第二反射单元包括第二长反射镜、第二短反射镜、第二终端反射镜以及移动组件，该移动组件包括滚珠丝杆、滑块、步进电机以及动镜支架，滚珠丝杆与第二短反射镜相垂直，滑块套设在滚珠丝杆上，步进电机的输出轴通过联轴器与滚珠丝杆连接，用于带动滚珠丝杆转动进而带动滑块沿着滚珠丝杆的长度方向移动，动镜支架安装在滑块上，第二长反射镜安装在动镜支架上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 干涉仪 干涉 分光 方法 | ||
【主权项】：
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