[发明专利]一种太阳能电池AZO+SiN叠层保护膜的镀制设备在审
| 申请号： | 202110104079.2 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112795872A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 闫路;上官泉元 | 申请（专利权）人： | 常州比太科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/06;C23C16/34;C23C16/50;C23C14/35;C23C28/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人： | 吴倩 |
| 地址： | 213164 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能电池AZO+SiN叠层保护膜的镀制设备，包括依次设置的AZO镀膜区及SiN镀膜区，以及对应AZO镀膜区及SiN镀膜区的链式传输机构，装载有硅片的载板平躺在链式传输机构上依次经过AZO镀膜区及SiN镀膜区。本发明在同一台设备中同时实现AZO和SiN镀膜，工序整合度高，制程周期短，极大降低了设备和人工成本投入，生产效率和产品良率得到有效提升，从而有效降低了太阳能电池制造成本；且AZO+SiN叠层保护膜同时具备良好的导电性和透光性，可以减薄掺杂非晶硅厚度以提高太阳光利用率并增加发电量，能够跟银或其它金属形成良好的欧姆接触以使接触电阻减少而进一步提升了电池效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 azo sin 保护膜 设备 | ||
【主权项】：
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