[发明专利]一种具有超高硬度的多元纳米复合结构涂层及其制备方法在审
申请号: | 202110104500.X | 申请日: | 2021-01-26 |
公开(公告)号: | CN112921280A | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 郭丰铭;郭裕竹;郭光宇 | 申请(专利权)人: | 科汇纳米技术(深圳)有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/16 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开的一种具有超高硬度的多元纳米复合结构涂层及其制备方法,包括以下步骤:第一步,首先将Substrate材料依次在粗、细氮化硼上进行打磨,打磨至Substrate上没有划痕,然后在抛光布上进行抛光处理,第二步,接着将Substrate放入超声波清洗机,依次用丙酮、无水乙醇和去离子水分别进行超声波清洗。本发明所述的一种具有超高硬度的多元纳米复合结构涂层及其制备方法,通过在TiAlN与AlTiN薄膜系列中分别添加Si元素制备而成的多元纳米复合超硬强韧涂层材料可以使切削刀具基体保持原有较高的强度与与韧性,而镀在刀具表面的涂层可提供超硬、强韧与耐磨的特性,赋予加工刀具具备高硬度、耐高温等特性,从而大大提升切削刀具于加工过程中的耐用度和适应性。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 超高 硬度 多元 纳米 复合 结构 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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