[发明专利]用于水处理过程的去除浮油的DLC薄膜及制备方法在审

专利信息
申请号: 202110105035.1 申请日: 2021-01-26
公开(公告)号: CN112941475A 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 陈君 申请(专利权)人: 苏州涂冠镀膜科技有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/18;C23C14/58;C23C16/26;C23C28/00;C02F1/40;C02F1/28;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 代理人: 叶栋
地址: 215126 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本申请涉及一种用于水处理过程的去除浮油的DLC薄膜及制备方法,所述方法包括如下步骤:在基板的表面磁控溅射以形成Cu涂层;将设置有所述Cu涂层的所述基板进行第一次热处理,以使得所述Cu涂层去润湿化以形成纳米金属Cu颗粒;再将进行过第一次热处理的设置有所述Cu涂层的所述基板放置于C2H2、H2与CF4的混合气体中,进行第二次热处理,以使得所述基板表面在纳米金属Cu颗粒的催化下形成含有F的DLC薄膜;将所述含有F的DLC薄膜与基板表面直接机械剥离。其最终形成的DLC薄膜比表面积大、孔隙率高、结构稳定、机械力学性能好,同时拥有较高的疏水性和亲油性,可满足于水处理过程中除油环节的需要。
搜索关键词: 用于 水处理 过程 去除 浮油 dlc 薄膜 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州涂冠镀膜科技有限公司,未经苏州涂冠镀膜科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110105035.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top