[发明专利]一种光学加速度传感器及加速度传感器系统在审
申请号: | 202110107185.6 | 申请日: | 2021-01-27 |
公开(公告)号: | CN112782424A | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 吴迅奇;朱洁琼 | 申请(专利权)人: | 宁波正业自动化科技有限公司 |
主分类号: | G01P15/03 | 分类号: | G01P15/03 |
代理公司: | 北京隆源天恒知识产权代理事务所(普通合伙) 11473 | 代理人: | 徐苏明 |
地址: | 315000 浙江省宁波市菁华*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种光学加速度传感器及加速度传感器系统,所述光学加速度传感器包括:传导光纤,其内部传导光波;半导体结构,其上刻蚀布拉格光栅,且与所述传导光纤对准,对射入的光波进行调制后反射回所述传导光纤;振动组件,其与所述半导体结构连接,感应被测物体的振动并传递给所述布拉格光栅。这样,将半导体结构和传导光纤分离开来设置,需要封装的时候,直接对半导体结构进行封装,解决了光纤弯曲半径过小,封装成传感器尺寸过大的问题;另外,半导体结构更为稳固,所以解决了布拉格光纤光栅易脆易断,无法测量高频振动信号的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学 加速度 传感器 系统 | ||
【主权项】:
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