[发明专利]一种高功率远红外金刚石激光单晶复合材料制备方法有效
| 申请号： | 202110108188.1 | 申请日： | 2021-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN112941623B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 李成明;黄亚博;陈良贤;刘金龙;黄珂;邵思武;魏俊俊;张建军;安康;郑宇亭 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | H01S3/16 | 分类号： | H01S3/16;H01S3/06;C30B25/02;C30B23/02;C30B29/04;C30B29/46 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
一种高功率远红外金刚石激光单晶复合材料制备方法，属于金刚石激光晶体材料领域。首先采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)制备(100)金刚石单晶膜；随后经过激光平整化、抛光、酸洗以及丙酮和酒精清洗后获得热导率≥2000w/(m·K)、远红外波段(8～12μm)红外透过率为71％金刚石单晶膜；再通过磁控溅射方法在双面抛光金刚石单晶膜单面沉积1‑2nm厚(100)铟(In)层作为晶格失配缓冲层；最后在铟(In)层表面异质外延生长(100)硒铟镓银(AgGa |
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| 搜索关键词： | 一种 功率 红外 金刚石 激光 复合材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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